Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Системи автоматизації проектувальних робіт
скачать файл: ![](/design/img/wordl.gif)
- Назва:
- Костомаров Павел Сергеевич. Моделирование процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии
- ВНЗ:
- Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильной электроники и электрооборудован
- Короткий опис:
- Костомаров Павел Сергеевич. Моделирование процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии: диссертация ... кандидата технических наук: 05.13.12 / Костомаров Павел Сергеевич;[Место защиты: Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильной электроники и электрооборудования"].- Москва, 2015.- 231 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб