Лихарев, Сергей Константинович. Электронно-зондовая микротомография полупроводниковых объектов
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Москва
Рік захисту:
1990
Короткий опис:
Лихарев, Сергей Константинович. Электронно-зондовая микротомография полупроводниковых объектов : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.04.- Москва, 1990.- 15 с.: ил.