Максина, Татьяна Яковлевна. Очистка поверхности кремниевых пластин от органических и неорганических примесей
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Киев
Рік захисту:
1990
Короткий опис:
Максина, Татьяна Яковлевна. Очистка поверхности кремниевых пластин от органических и неорганических примесей : автореферат дис. ... кандидата химических наук : 02.00.04.- Киев, 1990.- 18 с.: ил.