Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Мартюшенко, Алексей Викторович. Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы
- ВНЗ:
- Ин-т Микроэлектроники РАН
- Короткий опис:
- Мартюшенко, Алексей Викторович. Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т Микроэлектроники РАН.- Москва, 1995.- 15 с.: ил. РГБ ОД, 9 96-1/3775-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб