Каталог / Фізико-математичні науки / Фізика конденсованого стану
скачать файл: 
- Назва:
- Никифоров, Александр Иванович. Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния
- Короткий опис:
- Никифоров, Александр Иванович. Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Ин-т физики полупроводников.- Новосибирск, 1994.- 16 с.: ил. РГБ ОД, 9 94-2/3622-0
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб