ОСТАННІ НОВИНИ
| Бесплатное скачивание авторефератов |
| СКИДКА НА ДОСТАВКУ РАБОТ! |
| Увеличение числа диссертаций в базе |
| Снижение цен на доставку работ 2002-2008 годов |
| Доставка любых диссертаций из России и Украины |
ОСТАННІ ВІДГУКИ
Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл:
- Назва:
- Пашков, Владимир Юрьевич. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа
- Кількість сторінок:
- 200
- ВНЗ:
- НИИ точного машиностроения
- Рік захисту:
- 1996
- Короткий опис:
- Пашков, Владимир Юрьевич. Исследования физико-химических процессов генерации и гибели частиц в плазме ВЧ разряда в планарном реакторе плазмохимического травления промышленного типа : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / НИИ точного машиностроения.- Москва, 1996.- 25 с.: ил. РГБ ОД, 9 96-3/4051-1
- Список літератури:
- -
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб
