Попов, Валерий Петрович. Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Новосибирск
Рік захисту:
1990
Короткий опис:
Попов, Валерий Петрович. Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 02.00.01.- Новосибирск, 1990.- 20 с.: ил.