Применение метода каналографии для выявления каналирования в узких каналах кремния и изучение его закономерностей Завьялов, Григорий Иванович

Короткий опис

Завьялов, Григорий Иванович.
Применение метода каналографии для выявления каналирования в узких каналах кремния и изучение его закономерностей : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.16. - Ташкент, 1984. - 210 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Завьялов, Григорий Иванович
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. Основные результаты экспериментального и теоретического исследования закономерностей каналирования заряженных частиц в кристаллах
1.1. Общие сведения о каналировании и эффекте теней
1.2. Континуумная модель
1.3. Критические параметры каналирования
1.4. Потери энергии и деканалирование
1.5. Влияние дефектов кристалла на каналирование
1.6. Методика типичных экспериментов по изучению эффектов каналирования и теней
1.7. Изучение каналирования с помощью точечного альфа-источника
ГЛАВА П. Описание экспериментальной.установки и техники эксперимента
2.1. Изготовление точечных альфа-источников
2.2. Изготовление тонких образцов монокристалла кремния
2.3. Отжиг кристаллов. Отбор образцов для исследования
2.4. Конструкция экспериментальной камеры
2.5. Техника получения каналограмм при различных температурах кристалла
2.6. Определение оптимальных условий проявления канал ограмм. Построение и анализ характеристических кривых почернения
2.7. Индицирование каналограмм
2.8. Методы изучения каналограмм
9-50 9- 13 13 - 18 18 - 28 28 - 36 36
76 - 82 82 - 86 86
116
123
133
137
ГЛАВА Ш. Изучение закономерностей каналирования альфа-частиц в кремнии с использованием каналограмм, полученных при комнатной температуре 99
3.1. Качественное описание каналограммы 99
3.2. Исследование геометрических параметров каналов 104
3.3. Влияние качества кристаллов на параметры каналограмм
3.4. Изучение угловых характеристик плоскостного каналирования альфа-частиц в кремнии
3.5. Изучение высоты и площади пиков плоскостного каналирования в зависимости от эффективной толщины кристалла
3.6. Оценка длины пробегов альфа-частиц в режиме плоскостного каналирования
3.7. Определение отношения вероятностей деканалиро-вания и захвата альфа-частиц в плоскостных каналах кремния 143
3.8. Изучение закономерностей осевого каналирования 144
3.9. Некоторые результаты по наблюдению каналирования в высокоиндексных осевых и плоскостных каналах 151 -
ГЛАВА IУ. Исследование температурных закономерностей каналирования альфа-частиц в плоскостных каналах кремния
4.1. Влияние температуры кристалла на основные параметры низкоиндексных линий
4.2. Изучение температурных закономерностей каналирования в узких каналах. Открытие и закрытие каналов 161
4.3. 0 возможном влиянии междоузельных атомов на каналирование 168
154
155
4.4. Влияние анизотропии тепловых колебаний на температурное закрытие узких каналов 170
4.5. Определение критических параметров каналирования в узких плоскостных каналах кремния 179