Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Нанотехнології та наноматеріали (по галузях)
скачать файл: 
- Назва:
- Руденко Михаил Константинович. Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии
- ВНЗ:
- ФГБОУ ВО «МИРЭА - Российский технологический университет»
- Короткий опис:
- Руденко Михаил Константинович. Математическое моделирование процесса криогенного плазменного травления высокоаспектных микроструктур в кремнии;[Место защиты: ФГБОУ ВО «МИРЭА - Российский технологический университет»], 2023
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб