Савчук, Сергей Александрович. Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Москва
Рік захисту:
1991
Короткий опис:
Савчук, Сергей Александрович. Определение углерода в легколетучих материалах полупроводниковой техники : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 02.00.02.- Москва, 1991.- 20 с.: ил.