Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Системи автоматизації проектувальних робіт
скачать файл: ![](/design/img/wordl.gif)
- Назва:
- Серов Александр Алексеевич. Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники
- Короткий опис:
- Серов Александр Алексеевич. Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.12.- Москва, 2001.- 232 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/537-5
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб