Каталог / ХІМІЧНІ НАУКИ / Хімія елементоорганічних сполук
скачать файл: 
- Назва:
- Шатунов, Валерий Владимирович. Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур
- ВНЗ:
- Гос. науч.-исслед. ин-т химии и технологии элементоорган. соединений
- Короткий опис:
- Шатунов, Валерий Владимирович. Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.08 / Шатунов Валерий Владимирович; [Место защиты: Гос. науч.-исслед. ин-т химии и технологии элементоорган. соединений].- Москва, 2011.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-2/317
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб