Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Шевяков, Василий Иванович. Физико-технологические основы создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений
- ВНЗ:
- Моск. ин-т электронной техники
- Короткий опис:
- Шевяков, Василий Иванович. Физико-технологические основы создания выпрямляющих и омических контактов в кремниевых полупроводниковых приборах и ИС с использованием титана и его соединений : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электронной техники.- Москва, 1998.- 53 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-6/616-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб