Каталог / Фізико-математичні науки / фізика
скачать файл: 
- Назва:
- Шишлянников Антон Валерьевич. Исследование методов формирования структур с критическими размерами до 10 нм электронно-лучевой литографией на основе HSQ резиста
- ВНЗ:
- ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук
- Короткий опис:
- Шишлянников Антон Валерьевич. Исследование методов формирования структур с критическими размерами до 10 нм электронно-лучевой литографией на основе HSQ резиста;[Место защиты: ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук], 2021
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб