Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Силаков Михаил Валерьевич. Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии
- Короткий опис:
- Силаков Михаил Валерьевич. Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии : Дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 : Москва, 2003 151 c. РГБ ОД, 61:04-1/135-0
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб