Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Симакин, Сергей Геннадьевич. Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии
- ВНЗ:
- Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов
- Короткий опис:
- Симакин, Сергей Геннадьевич. Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук. Ин-т проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов.- Черноголовка, 1995.- 23 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-4/869-5
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб