Сканирующая зондовая микроскопия микро- и наноструктур, сформированных на поверхности кремния и диоксида кремния Бухараев, Анастас Ахметович

Короткий опис

Бухараев, Анастас Ахметович.
Сканирующая зондовая микроскопия микро- и наноструктур, сформированных на поверхности кремния и диоксида кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.17. - Казань, 1999. - 338 с. : ил.
Оглавление диссертациидоктор физико-математических наук Бухараев, Анастас Ахметович
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА I
Сканирующая туннельная микроскопия и спектроскопия на воздухе микро- и наноструктур на поверхности кремния
Введение к главе I.
1.1. Физико-химические свойства поверхности пассивированного кремния.
1.2. Сканирующей туннельный микроскоп-спектроскоп и его модификации для исследований на воздухе и в инертной атмосфере (основные конструктивные особенности, технические решения, экспериментальные возможности).
1.3. Особенности СТМ и СТС измерений на воздухе кремния, пассивированного методом гидрогенизации.
1.3.1. Вольт-амперные характеристики и абсолютные расстояния игла - образец при СТМ-измерениях кремния на воздухе.
1.3.2. Механизмы протекания тока в зазоре игла СТМ -поверхность 81 в атмосферных условиях.
1.4. Микро- и наноструктуры, сформированные на поверхности кремния ионными и лазерными пучками.
1.4.1. Визуализация с помощью СТМ наноструктур на поверхности 81, полученных высокодозовой имплантацией ионов группы железа.
1.4.2. Субмикронные периодические структуры, сформированные на поверхности имплантированного кремния с помощью импульсного интерференционного лазерного воздействия.