Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Твердотільна електроніка, радіоелектронні компоненти, мікро- та наноелектроніка, прилади на квантови
скачать файл: 
- Назва:
- Смирнов Владимир Александрович. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti
- Короткий опис:
- Смирнов Владимир Александрович. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ti : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Смирнов Владимир Александрович; [Место защиты: Юж. федер. ун-т]. - Таганрог, 2008. - 148 с. : ил. РГБ ОД, 61:08-5/1005
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб