Спектроскопическое исследование фторуглеродной плазмы Халтурин, Виктор Григорьевич

Короткий опис

Халтурин, Виктор Григорьевич.Спектроскопическое исследование фторуглеродной плазмы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.05. - Пермь, 1985. - 148 с. : ил.

Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Халтурин, Виктор Григорьевич
Введение
1. Низкотемпературная фторуглеродная плазма и спектроскопические методы ее диагностики.
1.1. Фторуглеродная плазма - как частный случай плазмы с химическими реакциями.
1.2 Методы диагностики плазмы.
1.3 Спектрально-оптические методы диагностики плазмы с химическими реакциями.
1.4 Диагностика фторуглеродной плазмы.
2, Экспериментальное исследование спектров фторуглеродной плазмы.
2.1 Экспериментальная установка.
2.2 Спектр фторуглеродной плазмы.
2.3 Методика отождествления спектров на примере радикалов С А/ и.
2.4 Термодинамический расчет состава плазмы.
2.5 Оценка ошибок, возникающих при спектроскопических измерениях.
3. Экспериментальное определение температуры неравновесной фторуглеродной плазмы.
3.1 Определение вращательной температуры.
3.1.1 Использование эмиссионных спектров и СЫ для определения вращательной температуры.
3.1.2 Аномалии в спектрах сг ж СМ.
3.2 Определение колебательной температуры плазмы.
3.2.1 Эмиссионные спектры и СМ и их использование для определения колебательной температуры частиц.
3,2«2 Аномалии в колебательной структуре спектров радикалов и СМ и их причины.
3.3 Определение электронной температуры плазмы и связанные с этим трудности.
3.4 Определение поступательной температуры.
4, Отождествление спектра фторуглеродной плазмы.
4.1 Эмиссионный спектр
4.2 Эмиссионные спектры радикалов С^ и С^.
Выводы.