Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
скачать файл: 
- Назва:
- Спешилова Анастасия Борисовна. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
- ВНЗ:
- ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»
- Короткий опис:
- Спешилова Анастасия Борисовна. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением: автореферат дис. ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Спешилова Анастасия Борисовна;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»], 2019
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб