Суетин, Николай Владиславович. Теоретическое исследование газовых разрядов, используемых в плазменной микротехнологии
Кількість сторінок:
200
ВНЗ:
Москва
Рік захисту:
1993
Короткий опис:
Суетин, Николай Владиславович. Теоретическое исследование газовых разрядов, используемых в плазменной микротехнологии : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 01.04.08.- Москва, 1993.- 22 с.: ил.