Каталог / Фізико-математичні науки / фізика плазми
скачать файл: 
- Назва:
- Суханов Яков Николаевич. Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники
- Короткий опис:
- Суханов Яков Николаевич. Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : Дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.08, 01.04.04 : Москва, 2005 114 c. РГБ ОД, 61:05-1/586
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб