Термо-полевая модификация для формирования наноструктур на поверхности стекол Редуто Игорь Владимирович

Короткий опис

Редуто, Игорь Владимирович.
Термо-полевая модификация для формирования наноструктур на поверхности стекол : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Редуто Игорь Владимирович; [Место защиты: Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет РАН]. - Санкт-Петербург, 2019. - 128 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Редуто Игорь Владимирович
ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ СОКРАЩЕНИЯ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
1.1 Общие представления о стекле
1.2 Поляризация стекла
1.3 2D-поляризация
1.4 Краевые эффекты
1.5 Изготовление рельефных структур путём травления поляризованных стекол
1.6 Формирование одиночных металлических наночастиц и структур из наночастиц на поверхности стекол
Глава 2. ТЕХНИКА ИЗМЕРЕНИЙ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДИКИ
2.1. Техника измерений
2.1.1. Профилометрия и АСМ измерения
2.1.2. Электронная микроскопия
2.1.3. Спектроскопия
2.1.4 Исследование состава поляризованных стёкол по глубине - ВИМС
2.1.5 Спектроскопия комбинационного рассеяния
2.2. Экспериментальные методики
2.2.1. Изготовление электродов
2.2.2. Поляризация стекол
2.2.3. Ионный обмен и отжиг в водороде
2.2.4. Химическое травление
2.2.5. Реактивное ионное и плазменное травление
2.2.6. Атомно-слоевое осаждение
Глава 3. СТРУКТУРИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ СТЕКОЛ ПРИ ПОЛЯРИЗАЦИИ И ТЕРМООБРАБОТКЕ
3.1. Поляризация стекол и эффекты на краю электрода
3.2. Влияние дополнительной термообработки на высоту сформированного при поляризации рельефа на поверхности стекол
3.3. Управление распределением металлических островков на поверхности стекол посредством поляризации
3.4. Выводы к третьей главе
Глава 4. СТРУКТУРИРОВАНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛЯРИЗОВАННЫХ СТЕКОЛ ПРИ ТРАВЛЕНИИ
4.1. Исследование травления стекол
4.1.1. Химическое травление
4.1.2. «Сухое» травление
4.2. Исследование формирования периодических структур
4.3 Выводы к четвёртой главе
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ, ВКЛЮЧЕННЫХ В ДИССЕРТАЦИЮ
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
ИСПОЛЬЗУЕМЫЕ СОКРАЩЕНИЯ
АСМ - атомно-силовая микроскопия
АСО - атомно-слоевое осаждение
ВИМС - вторично-ионная масс-спектрометрия
ВЧ - высокочастотный
ГВГ - генерация второй гармоники
ГКР - гигантское комбинационное рассеяние
КР - комбинационное рассеяние
НКС - натриево-кальциево-силикатное стекло
ППР - поверхностный плазмонный резонанс
ПХТ - плазмохимическое травление
РИТ - реактивно-ионное травление
СНП - серебряные наноостровковые плёнки
СЭМ - сканирующая электронная микроскопия
ТЭП - термо-электрическая поляризация
ВВЕДЕНИЕ