Тутов Евгений Анатольевич. Гетерофазные процессы в пленочных сенсорных структурах на кремнии
Кількість сторінок:
294
ВНЗ:
Воронеж. гос. ун-т
Рік захисту:
2009
Короткий опис:
Тутов Евгений Анатольевич. Гетерофазные процессы в пленочных сенсорных структурах на кремнии : диссертация ... доктора химических наук : 02.00.21 / Тутов Евгений Анатольевич; [Место защиты: Воронеж. гос. ун-т].- Воронеж, 2009.- 294 с.: ил. РГБ ОД, 71 10-2/10