Влияние методов формирования структур VxOy/InP на особенности их термооксидирования и состав пленок Сладкопевцев, Борис Владимирович




  • скачать файл:
  • Назва:
  • Влияние методов формирования структур VxOy/InP на особенности их термооксидирования и состав пленок Сладкопевцев, Борис Владимирович
  • Альтернативное название:
  • The influence of methods for forming VxOy/InP structures on the features of their thermal oxidation and the composition of films Sladkopevtsev, Boris Vladimirovich
  • Кількість сторінок:
  • 191
  • ВНЗ:
  • Воронеж. гос. ун-т
  • Рік захисту:
  • 2013
  • Короткий опис:
  • Сладкопевцев, Борис Владимирович.Влияние методов формирования структур VxOy/InP на особенности их термооксидирования и состав пленок : диссертация ... кандидата химических наук : 02.00.01 / Сладкопевцев Борис Владимирович; [Место защиты: Воронеж. гос. ун-т]. - Воронеж, 2013. - 191 с. : ил.

    Оглавление диссертациикандидат химических наук Сладкопевцев, Борис Владимирович
    СОДЕРЖАНИЕ
    ВВЕДЕНИЕ
    ГЛАВА I. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
    1.1. Особенности собственного оксидирования ІпР
    1.2. Хемостимулированное термооксидирование ІпР
    1.3. Обзор некоторых методов синтеза наноразмерных структур
    1.3.1. Вакуумно-термическое испарение
    1.3.2. Магнетрониое распыление
    1.3.3. Электрический взрыв проводника
    1.3.4. Золь-гель технология. СУИ-процесс. Пиролиз аэрозолей
    1.4. Импульсная фотонная обработка
    1.5. Влияние ванадия и его соединений на термооксидирование полупроводников АШВУ
    ГЛАВА П. МЕТОДИКИ МОДИФИЦИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ІпР. ОКСИДИРОВАНИЕ И АНАЛИЗ СИНТЕЗИРОВАННЫХ СТРУКТУР
    2.1. Характеристика и свойства исходных материалов
    2.2. Методики синтеза структур УхОуЯпР
    2.2.1. Методика формирования островковых структур (жёсткий метод)
    2.2.2. Методика формирования сплошных структур (мягкие методы)
    2.3. Импульсная фотонная обработка ІпР и структур УхОуЯпР
    2.4. Термооксидирование структур УхОуЯпР
    2.5. Методы исследования полученных структур
    2.5.1. Одноволновая лазерная и спектральная эллипсометрия, кинетическая обработка результатов
    2.5.2. Рентгенофазовый анализ
    2.5.3. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
    2.5.4. Оже-электронная спектроскопия
    2.5.5. Растровая электронная микроскопия
    2.5.6. Сканирующая туннельная микроскопия
    ГЛАВА Ш. ОПТИМИЗАЦИЯ РЕЖИМА ФОРМИРОВАНИЯ НА-НООСТРОВКОВЫХ СТРУКТУР VxOy/InP. КИНЕТИКА ОКСИДИРОВАНИЯ И МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ
    3.1. Зависимость характеристик наноостровковых структур от параметров электровзрывного процесса их нанесения на поверхность InP
    3.2. Выбор оптимального режима формирования наноструктур для достижения максимального ускорения их термооксидирования
    3.3. Характеристика наноостровковых структур, сформированных в оптимальном режиме
    3.4. Кинетика термооксидирования наноостровковых структур V2Os/InP, сформированных в оптимальном режиме
    ГЛАВА IV. РАЗРАБОТКА И ОПТИМИЗАЦИЯ МЯГКИХ МЕТОДИК СИНТЕЗА СТРУКТУР VxOy/InP И КИНЕТИКА ИХ ТЕРМООКСИДИРОВАНИЯ
    4.1. Результаты модифицирования поверхности мягкими методами, термический отжиг
    4.2. Термооксидирование структур на основе InP, сформированных осаждением слоев оксидов ванадия мягкими методами из золя и геля
    4.3. Эффект фотонной активации процесса оксидирования InP и структур VxOy/InP
    4.3.1. Термооксидирование InP, прошедшего импульсную фотонную обработку
    4.3.2. Термооксидирование структур VjD/InP, сформированных мягкими методами и прошедших импульсную фотонную обработку
    ГЛАВА V. ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ И СОСТАВ ПЛЕНОК, СФОРМИРОВАННЫХ ТЕРМООКСИДИРОВАНИЕМ ПОЛУЧЕННЫХ ОБРАЗЦОВ
    5.1. Спектральпо-эллипсометрическое исследование сложноок-сидных пленок на InP
    5.2. Характер распределения компонентов в образцах, сформированных термооксидированием наноостровковых и сплошных структур (ОЭС)
    5.3. РФЭС образцов, сформированных термооксидированием синтезированных структур
    ГЛАВА VI. ВЛИЯНИЕ МЕТОДА НАНЕСЕНИЯ ХЕМОСТИМУЛЯ-ТОРА НА МЕХАНИЗМ ТЕРМООКСИДИРОВАНИЯ, СОСТАВ И МОРФОЛОГИЮ СЛОЁВ
    6.1. Кинетика и механизм процесса термооксидирования
    6.2. Влияние метода нанесения хемостимулятора на состав и морфологию пленок, выращенных термооксидированием структур VxOy/InP
    6.3. Обобщение результатов
    ВЫВОДЫ
  • Список літератури:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОШУК ГОТОВОЇ ДИСЕРТАЦІЙНОЇ РОБОТИ АБО СТАТТІ


Доставка любой диссертации из России и Украины


ОСТАННІ СТАТТІ ТА АВТОРЕФЕРАТИ

ГБУР ЛЮСЯ ВОЛОДИМИРІВНА АДМІНІСТРАТИВНА ВІДПОВІДАЛЬНІСТЬ ЗА ПРАВОПОРУШЕННЯ У СФЕРІ ВИКОРИСТАННЯ ТА ОХОРОНИ ВОДНИХ РЕСУРСІВ УКРАЇНИ
МИШУНЕНКОВА ОЛЬГА ВЛАДИМИРОВНА Взаимосвязь теоретической и практической подготовки бакалавров по направлению «Туризм и рекреация» в Республике Польша»
Ржевский Валентин Сергеевич Комплексное применение низкочастотного переменного электростатического поля и широкополосной электромагнитной терапии в реабилитации больных с гнойно-воспалительными заболеваниями челюстно-лицевой области
Орехов Генрих Васильевич НАУЧНОЕ ОБОСНОВАНИЕ И ТЕХНИЧЕСКОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЭФФЕКТА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ КОАКСИАЛЬНЫХ ЦИРКУЛЯЦИОННЫХ ТЕЧЕНИЙ
СОЛЯНИК Анатолий Иванович МЕТОДОЛОГИЯ И ПРИНЦИПЫ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ САНАТОРНО-КУРОРТНОЙ РЕАБИЛИТАЦИИ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА