Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства Сунь Чжилэй

Короткий опис

Сунь, Чжилэй.
Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Сунь Чжилэй; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский Томский политехнический университет»]. - Томск, 2020. - 154 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Сунь Чжилэй
Введение
Глава 1. Литературный обзор
1.1 Пленки оксинитридов титана: применение и ограничения
1.2 Структура и свойства пленок оксинитридов титана, осажденных МР: влияние режимов распыления
1.2.1 Влияние мощности магнетронного разряда (МР)
1.2.2 Влияние рабочего давления
1.2.3 Влияние состава рабочей атмосферы
1.2.4 Влияние электрического смещения на подложке
1.2.5 Влияние толщины пленки
1.2.6 Влияние температуры отжига
1.3 Фотокаталитические характеристики пленок оксинитридов титана
1.4 Контактный угол смачивания и поверхностная энергия пленок оксинитридов титана
Глава 2. Материалы и методы исследования
2.1 Установка магнетронного распыления "УВН-200МИ"
2.2 Установка магнетронного распыления "ТИОН-2М"
2.3 Исследование плазмы МР методом двойного зонда Ленгмюра
2.4 Образцы для исследований
2.5 Измерение температуры подложки в процессе осаждения пленки
2.6 Методы структурного анализа
2.7 Данные диагностика плазмы и измерение температуры подложки
Глава 3. Структурные особенности и свойства азотсодержащих пленок оксидов
л
титана (№ТЮ2), осажденные МР при удельной мощности 2,7 Вт/см
3.1 Толщина и показатель преломления пленок ^ТЮ2 осажденных МР, влияние термического отжига
3.2 Исследование кристаллической структуры ^ТЮ2 пленок, осажденных МР, влияние термического отжига, данные рамановской спектроскопии
3.3 Фазовый состав №ТЮ2 пленок, осажденных МР
3.4 Исследование химического состава ^ТЮ2 пленок, осажденных МР
3.5 Топография поверхности пленок ^ТЮ2, осажденные МР
3.6 Исследование пленок N-TiO2 методом оптической спектроскопии в УФ и видимом диапазоне света
3.7 Контактный угол смачивания пленок N-TiO2, осажденных МР
Заключение
Глава 4. Структурные особенности и свойства азотсодержащих пленок оксидов
Л
титана (N-TiO2), осажденные МР при удельной мощности 5,4 Вт/см
4.1 Толщина и показатель преломления пленок N-TiO2, выращенных при мощности
2 кВт, влияние термической обработки
4.2 Исследование структуры и молекулярного состава N-TiO2 пленок методом рамановской спектроскопии
4.3 Фазовый состав пленок N-TiO2, осажденных методом МР
4.4 Исследование структуры и молекулярного состава N-TiO2 пленок методами РФЭС и ИК спектроскопии
4.5 Топография и шероховатость поверхности N-TiO2 пленок, осажденных методом
МР
4.6 Оптические характеристики пленок N-TiO2 в УФ и видимом диапазоне света
4.7 Контактный угол смачивания пленок N-TiO2, осажденных МР при удельной
Л
мощности 5,4 Вт/см2
Заключение
Глава 5. Влияние режимов магнетронного осаждения на структуру и свойства пленок
оксинитридов титана
5.1Влияние изменения мощности разряда напыления и последующего отжига на
структуру пленки оксинитридов титана
Заключение
5.2 Влияние состава рабочего газа и отрицательного смещения на подложке на
структуру пленок оксинитридов титана, осажденного методом МР
Заключение
Основные выводы
Список литературы