Каталог / ТЕХНІЧНІ НАУКИ / матеріалознавство
скачать файл:
- Назва:
- Жукова Светлана Александровна. Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полимидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники
- Короткий опис:
- Жукова Светлана Александровна. Структурные эффекты плазмохимической обработки тонких полимидных пленок и покрытий в технологии устройств микросистемной техники : Дис. ... канд. техн. наук : 05.02.01 : Москва, 2004 180 c. РГБ ОД, 61:04-5/2856
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб