Исследование и разработка радиоактивационных методов анализа полупроводниковых материалов на циклотроне Вакилова, Гульбахор

brief description

Вакилова, Гульбахор.
Исследование и разработка радиоактивационных методов анализа полупроводниковых материалов на циклотроне : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.16. - Ташкент, 1984. - 146 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Вакилова, Гульбахор
ВВЕДЕНИЕ.
1. СОСТОЯНИЕ МЕТОДОВ АНАЛИЗА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ.
1.1. Полупроводниковые материалы и методы их анализа
1.2. Ядерно-физические методы анализа элементного состава полупроводников.
1.3. Состояние активационных методов анализа на заряженных частицах.
Постановка задачи.
2. РАЗРАБОТКА РАДИОАКТМВАЦИОННЫХ МЕТОДИК АНАЛИЗА КРЕМНИЯ
2.1. Техника эксперимента.
2.2. Микроэлементный состав кремния
2.3. Определение концентрации кислорода и углерода.
2.4. Распределение элементов по глубине образцов.
2.5. Распределение кислорода в кремнии.
3. АКТИВАЦИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ ЗАРФЖНЫМИ ЧАСТИЦА]1® НА ЦИКЛОТРОНЕ.
3.1. Активация протонами и дейтронами.
3.2. Активация ионами гелия-3.
3.3. Избирательность радиоактивационного анализа полупроводниковых материалов.
3.4. Радиохимические методы анализа полупроводников с выделением 0.
3.5. Инструментальные методы определения элементов в некоторых полупроводниках.
3.6. Метрологические характеристики методик анализа