Притчин Сергій Емільович. Удосконалення технології вирощування зливків кремнію з рівномірним розподілом кисню

brief description

Притчин Сергій Емільович. Удосконалення технології вирощування зливків кремнію з рівномірним розподілом кисню: дисертація канд. техн. наук: 05.27.06 / Харківський національний ун-т радіоелектроніки. - Х., 2003
Притчин С.Э.Удосконаленнятехнології вирощування зливків кремнію з рівномірним розподілом кисню - Рукопис.
Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук за фахом 05.27.06. - Технологія, устаткування і виробництво електронної техніки. - Харківський національний університет радіоелектроніки, Харків, 2003.
Дисертація присвячена удосконаленню технології вирощування зливків кремнію з рівномірним розподілом кисню по довжині шляхом програмування технологічних параметрів вирощування. У роботі проведено аналіз механізму впровадження і розподілу кисню і вплив на цей процес технологічних параметрів. Показано, що основним джерелом кисню в зливку кремнію є процес розчинення кварцового тигля. Проведено експериментальні дослідження швидкості розчинення кварцового тигля, яка склала 7,5 мг/(см2*г) - 3,2 мг/(см2*г). Побудовано математичну модель зміни концентрації кисню в розплаві залежно від довжини вирощеного зливка. Визначено основні технологічні параметри, керування якими дозволяє впливати на розподіл кисню.
Розроблено і метрологічно атестовано методику вимірювання осьової і радіальної концентрації кисню. Похибка методики склала 0.08 *1017см-3. Запропоновано принцип побудови розподіленої системи керування вирощуванням зливків, яка забезпечує вирощування зливків із нормованою концентрацією кисню, розроблено структурну і функціональну схему системи. Для зменшення коливань швидкості вирощування і частоти обертання тигля, що впливають на нерівномірність концентрації кисню в зливку, розроблено телевізійний давач вимірювання діаметра зливка, який забезпечує точність вимірювання ± 1.0 мм, і давач вимірювання швидкості витягування і частоти обертання тигля, що забезпечує точність вимірювання ± 0.4 %.
Удосконалено технологію і розроблено програмні профілі вирощування зливків кремнію з осьовою концентрацією кисню в межах ± 1.5*1017см-3, радіальною концентрацією кисню менше 6%, і відхилення діаметра зливка від заданого ± 1.5 мм.