Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Материаловедение
скачать файл:
- Название:
- Обижаев Денис Юрьевич. Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники
- ВУЗ:
- Рос. гос. технол. ун-т им. К.Э. Циолковского (МАТИ)
- Краткое описание:
- Обижаев Денис Юрьевич. Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.01 / Обижаев Денис Юрьевич; [Место защиты: Рос. гос. технол. ун-т им. К.Э. Циолковского (МАТИ)]. - Москва, 2008. - 151 с. : ил. РГБ ОД, 61:08-5/103
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб