Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Цимбалов Андрей Сергеевич. Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0.35 мкн на кластерном технологическом оборудовании
- Краткое описание:
- Цимбалов Андрей Сергеевич. Исследование и разработка конструктивно-технологических решений создания транзисторного модуля для изготовления КМОП схем с проектными нормами 0.35 мкн на кластерном технологическом оборудовании : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2006.- 160 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/1804
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб