Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Мартюшенко, Алексей Викторович. Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы
- ВУЗ:
- Ин-т Микроэлектроники РАН
- Краткое описание:
- Мартюшенко, Алексей Викторович. Моделирование тепло-массопереноса и оптимизация газодинамических режимов в реакторах химического осаждения из газовой фазы : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Ин-т Микроэлектроники РАН.- Москва, 1995.- 15 с.: ил. РГБ ОД, 9 96-1/3775-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб