Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика полупроводников
скачать файл: 
- Название:
- Александров Олег Викторович. Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния
- Краткое описание:
- Александров Олег Викторович. Диффузия, сегрегация и электрическая активация легирующих примесей в диффузионных и имплантационных слоях кремния : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.10.- Санкт-Петербург, 2003.- 322 с.: ил. РГБ ОД, 71 03-1/144-6
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб