Баринов Илья Николаевич. Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе структуры "кремний-на-диэлектрике"
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Пенза
Год защиты:
2005
Краткое описание:
Баринов Илья Николаевич. Полупроводниковые чувствительные элементы датчиков давлений на основе структуры "кремний-на-диэлектрике" : Дис. ... канд. техн. наук : 05.11.14 Пенза, 2005 210 с. РГБ ОД, 61:06-5/3522