Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика полупроводников
скачать файл: 
- Название:
- Борун, Александр Феликсович. Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота
- ВУЗ:
- Моск. ин-т электронной техники
- Краткое описание:
- Борун, Александр Феликсович. Процессы фазообразования при ионном синтезе скрытых диэлектрических слоев в кремнии, имплантированном атомами кислорода и азота : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Моск. ин-т электронной техники.- Москва, 1995.- 30 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-3/2642-7
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб