Электрические и оптические свойства пиролитических пленок окислов металлов Салун, Владимир Савельевич

Краткое описание

Салун, Владимир Савельевич.
Электрические и оптические свойства пиролитических пленок окислов металлов : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Москва, 1984. - 141 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Салун, Владимир Савельевич
Введение.Г
ГЛАВА I. Полупроводниковые и диэлектрические пленки окислов металлов: получение, свойства, применение .U
1.1. Методы получения и области применения прозрачных проводящих покрытий-(.ПОП)
1.2. Кристаллическая структура окисных полупроводников .
1.3. Электрические и оптические свойства ППП. J
1.3.1. Точечные дефекты и концентрации квазисвободных электронов в полупроводниковых окислах.
1.3.2. Механизмы рассеяния электронов проводимости .2
1.3.3. Оптические свойства ППП.
1Л. Диэлектрические пленки окислов металлов и их применение в микроэлектронике. . . ,26 1.5. Электрическое старение и пробой окисных диэлектриков.
1.5.1. Тепловой пробой диэлектриков.
1.5.2. Электрический пробой диэлектриков.
1.5.3. Механизмы электрического старения диэлектриков.
Выводы.Щ
ГЛАВА 2. Получение пленок окислов металлов методом пиролиза.4?
2.1. Факторы, влияющие на процесс осаждения пленок окислов металлов из мет^лдорргаци^ . ческих соединений (МОС).
Определение оптимальных параметров процесса осаждения пленок окислов металлов из МОС. .45"
Быводы.£
ГЛАВА 3. Физические свойства прозрачных проводящих пленокInz03:Sn 3.1. Электрические свойства ППП In^O^Sn. . . .59 Оптические свойства пленок X^^*'^ . . . 6> 3.^.1. Методика определения спектральной зависимости коэффициента поглощения света. .6? 3.did,. Экспериментальное исследование механизмов поглощения света в пленкахХ^^'^я
3.^.3. Отражение и плазменный резонанс в пленках Inz03-Sn
3.3. Влияние химического состава и кристаллической структуры пленок Тяг^з'-^л на их электрофизические параметры
3.3.1. Кристаллическая структура пленок Тл2О^^гП") 3.3.Z. Химический состав пленок Ji2Oz:$n 7&
3.3.3. Механизм влияния послеростового отжига на электрофизические параметры ППП
Выводы.85*
ГЛАВА 4. Пиролитические окисные пленки диэлектриков. . . 8? 4.1. Влияние внешних факторов на электрическую прочность окисных пленок диэлектриков. . . 87 4.I.I. Объекты исследования и экспериментальная установка.
4.1.^. Результаты экспериментального исследования пробоя окисных пленок диэлектриков. . . .93 4.1.3. О возможном механизме пробоя окисных пленок диэлектриков.
-44.2. Спектральные и цветовые характеристики окисных пленок диэлектриков.WT
Выводы.Щ
ГЛАВА 5. Применение пиролигических пленок окислов металлов^?
Выводы.>