Исследование влияния малых газовых добавок и постоянного электрического поля на параметры сильно неоднородного СВЧ разряда пониженного давления методом математического моделирования Титов, Александр Юрьевич

Краткое описание

Титов, Александр Юрьевич.
Исследование влияния малых газовых добавок и постоянного электрического поля на параметры сильно неоднородного СВЧ разряда пониженного давления методом математического моделирования : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Титов Александр Юрьевич; [Место защиты: Моск. гос. ун-т им. М.В. Ломоносова]. - [Б. м.], [20--?]. - 119 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Титов, Александр Юрьевич
ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. Литературный обзор
§ 1.1. СВЧ устройства, применяемые для получения плазмы
§ 1.2. Моделирование СВЧ разрядов
§ 1.3. Моделирование электродного СВЧ разряда
§ 1.4. Выводы к Главе 1
ГЛАВА 2. Описание разработанных моделей электродного СВЧ разряда
§ 2.1. Введение
§ 2.2. Геометрия задачи (расчетная область)
§ 2.3. Основные уравнения
§ 2.4. Выводы к Главе 2 47 ГЛАВА 3. Влияние диэлектрического покрытия антенны и малых добавок азота на
свойства плазмы электродного СВЧ разряда в водороде 48 § 3.1. Влияние диэлектрического покрытия антенны на свойства электродного СВЧ
разряда 48 § 3.2. Влияние малых добавок азота на СВЧ-разряд пониженного давления в водороде.
Моделирование
§ 3.3. Выводы к Главе 3 64 ГЛАВА 4. Влияние малых добавок аргона на сильно неоднородный СВЧ разряд
(электродный СВЧ разряд) пониженного давления в водороде
§ 4.1. Введение
§ 4.2. Экспериментальная часть
§ 4.3. Модель
§ 4.4. Результаты и обсуждение
§ 4.5. Выводы к главе 4 81 ГЛАВА 5. Влияние внешнего постоянного электрического поля на свойства
неоднородного микроволнового разряда в водороде при пониженных давлениях
§ 5.1 Введение
§ 5.2. Самосогласованная 2Б модель разряда
§ 5.3. Экспериментальная установка
§ 5.4. Результаты и обсуждение
§ 5.5. Выводы к главе 5 ЗАКЛЮЧЕНИЕ БЛАГОДАРНОСТИ ЛИТЕРАТУРА
98 100 102