Исследования деформированного состояния полупроводниковых гетероструктур на основе соединений А3В5 с помощью электронного зонда Уманский, Владимир Евгеньевич

Краткое описание

Уманский, Владимир Евгеньевич.
Исследования деформированного состояния полупроводниковых гетероструктур на основе соединений А3В5 с помощью электронного зонда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10. - Ленинград, 1983. - 197 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат физико-математических наук Уманский, Владимир Евгеньевич
В в е д е н и е
Глава I. ИССЛЕДОВАНИЕ НАПРЯЖЕНИЙ И ДЕФОРМАЦИЙ В ГЕТЕРОСТРУКТУРАХ (Литературный обзор).
1.1. Методы исследования напряжений и деформаций в гете-роструктурах
1.1.1. Причины деформации гетерокомпозиций.
1.1.2. Методы оцределения упругих напряжений в гетеро-структурах.
1*1.3. Методы исследования пластической деформации в гетероструктурах.
1.2. Электронно-зондовые исследования деформированного состояния гетероструктур
1.2Л. Применение метода Косселя для исследования кристаллического совершенства гетероструктур . 25 1.2.2. Методы визуализации дефектов полуцроводниковых гетероструктур в электронно-зондовом цриборе.
1.3. Результаты исследования упруго-пластической деформации в гетероструктурах на основе соединений
I.3I. Теоретические модели релаксации упругих напряжений в гетероструктурах.
1.3.2. Экспериментальные исследования аккомодации несоответствия постоянных решетки в гетероструктурах на основе соединений А^
1.4. Выводы и постановка задачи.
Глава 2. КОМПЛЕКС МЕТОДОВ ИССЛЕДОВАНИЯ ДЕФОРМИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ ГтРОСЕРУКГУР В ЭЛЕКТРОННО-ЗОНДОВОМ ПРИБОРЕ.
2.1. Особенности деформированного состояния гетерострук
2.2. Модели деформированного состояния гетерокомпозифй
2.3. Применение метода ШРП для оцределения параметров деформированного состояния гетероструктур.
2.3.1. Выбор метода рентгеноструктурных исследований
2.3.2. Оцределение величины НИР методом ШРП
2.3.3. Точность метода оцределения величины несоответствия постоянных решетки.
2.3.4. Определение параметров деформированного состояния
ГС методом ШРП.
2.3.5. Оцределение НРП свободного (недеформированного ) эпитаксиального слоя и подложки
2.3.6. Реализация метода ШРП в электронно-зондовом цриборе и его экспериментальная цроверка.
2.4. Оцределение параметров деформированного состояния
ГС в широком интервале температур.
2.4.1. Оцределение различия КТР, термических напряжений и деформаций в ГС.
2.4.2. Реализация метода ШРП в широком интервале температур в электронно-зондовом цриборе
2.5. Рентгенотопографические исследования методом ШРП
2.6. Оцределение распределения постоянной решетки по толщине ГС методом ШРП.
- ч