Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Радиотехнические устройства и средства телекоммуникаций
скачать файл: 
- Название:
- Истомина, Наталья Леонидовна. Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии
- ВУЗ:
- Моск. гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского
- Краткое описание:
- Истомина, Наталья Леонидовна. Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.12.13 / Моск. гос. технол. ун-т им. К. Э. Циолковского.- Москва, 1995.- 15 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-4/2627-8
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб