Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Машины, агрегаты и технологические процессы
скачать файл: 
- Название:
- Каблуков Андрей Леонидович. Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра
- Краткое описание:
- Каблуков Андрей Леонидович. Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра : Дис. ... канд. техн. наук : 05.02.13 : Москва, 2003 157 c. РГБ ОД, 61:04-5/1780
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб