Кашапов Наиль Фаикович. Струйные ВЧ плазмотроны в процессах нанесения покрытий в условиях динамического вакуума
Кол-во страниц:
506
ВУЗ:
Казань
Год защиты:
2001
Краткое описание:
Кашапов Наиль Фаикович. Струйные ВЧ плазмотроны в процессах нанесения покрытий в условиях динамического вакуума : диссертация ... доктора технических наук : 01.04.08.- Казань, 2001.- 506 с.: ил. РГБ ОД, 71 02-5/287-1