Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами
скачать файл:
- Название:
- Клебанова, Ирина Валентиновна. Синтез самонастраивающихся систем управления технологическими процессами сухого травления кремния
- ВУЗ:
- Моск. авиацион. ин-т.- Москва
- Краткое описание:
- Клебанова, Ирина Валентиновна. Синтез самонастраивающихся систем управления технологическими процессами сухого травления кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.07 / Моск. авиацион. ин-т.- Москва, 1994.- 13 с.: ил. РГБ ОД, 9 94-2/3255-1
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб