Князев Максим Александрович. Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии

Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов




  • скачать файл:
  • Название:
  • Князев Максим Александрович. Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Ин-т проблем технол. микроэлектроники и особочистых материалов РАН
  • Год защиты:
  • 2007
  • Краткое описание:
  • Князев Максим Александрович. Исследование процессов 3D-структурирования в электронной литографии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01 / Князев Максим Александрович; [Место защиты: Ин-т проблем технол. микроэлектроники и особочистых материалов РАН].- Черноголовка, 2007.- 120 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-1/7
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ




Доставка любой диссертации из России и Украины


ПОСЛЕДНИЕ ДИССЕРТАЦИИ

Численно-аналитическое решение задач о напряженном состоянии неоднородных анизотропных оболочек в пространственной постановке Панкратова, Наталья Дмитриевна
Численное моделирование явлений распространения сильных ударных волн в гетерогенных упруго-пластических средах Ческидов, Петр Алексеевич
Численное решение двумерных упругоплпастических задач, допускающих постановку в виде вариационных неравенств Садовский, Владимир Михайлович
Численное решение некоторых пространственных задач теории вязкоупругости в напряжениях Ахмедов, Акрам Бурханович
Численное решение нелинейных задач механики горных пород Такабаев, Казис Кампаевич

ПОСЛЕДНИЕ СТАТЬИ И АВТОРЕФЕРАТЫ

ГБУР ЛЮСЯ ВОЛОДИМИРІВНА АДМІНІСТРАТИВНА ВІДПОВІДАЛЬНІСТЬ ЗА ПРАВОПОРУШЕННЯ У СФЕРІ ВИКОРИСТАННЯ ТА ОХОРОНИ ВОДНИХ РЕСУРСІВ УКРАЇНИ
МИШУНЕНКОВА ОЛЬГА ВЛАДИМИРОВНА Взаимосвязь теоретической и практической подготовки бакалавров по направлению «Туризм и рекреация» в Республике Польша»
Ржевский Валентин Сергеевич Комплексное применение низкочастотного переменного электростатического поля и широкополосной электромагнитной терапии в реабилитации больных с гнойно-воспалительными заболеваниями челюстно-лицевой области
Орехов Генрих Васильевич НАУЧНОЕ ОБОСНОВАНИЕ И ТЕХНИЧЕСКОЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЭФФЕКТА ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ КОАКСИАЛЬНЫХ ЦИРКУЛЯЦИОННЫХ ТЕЧЕНИЙ
СОЛЯНИК Анатолий Иванович МЕТОДОЛОГИЯ И ПРИНЦИПЫ УПРАВЛЕНИЯ ПРОЦЕССАМИ САНАТОРНО-КУРОРТНОЙ РЕАБИЛИТАЦИИ НА ОСНОВЕ СИСТЕМЫ МЕНЕДЖМЕНТА КАЧЕСТВА