Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика приборов, элементов и систем
скачать файл: 
- Название:
- Колпаков, Всеволод Анатольевич. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы
- ВУЗ:
- Сам. гос. аэрокосм. ун-т им. С.П. Королева
- Краткое описание:
- Колпаков, Всеволод Анатольевич. Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы : диссертация ... доктора физико-математических наук : 01.04.01 / Колпаков Всеволод Анатольевич; [Место защиты: Сам. гос. аэрокосм. ун-т им. С.П. Королева].- Самара, 2010.- 278 с.: ил. РГБ ОД, 71 10-1/274
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб