Комбинированная методика корпускулярной диагностики и оптической эмиссионной спектроскопии для определения ионных потоков из низкотемпературной плазмы Колодко Добрыня Вячеславич

Краткое описание

Колодко, Добрыня Вячеславич.
Комбинированная методика корпускулярной диагностики и оптической эмиссионной спектроскопии для определения ионных потоков из низкотемпературной плазмы : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.08 / Колодко Добрыня Вячеславич; [Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»]. - Москва, 2022. - 121 с. : ил.
Оглавление диссертациикандидат наук Колодко Добрыня Вячеславич
Оглавление
Введение
Глава 1 Методы диагностики плазмы
1.1 Оптическая эмиссионная спектроскопия
1.2 Корпускулярная диагностика
1.3 Интерпретация экспериментальных данных
1.4 Выводы
Глава 2 технические средства для анализа плазмы
2.1 Состав анализатора
2.1.1 Экстрактор
2.1.2 Система откачки анализатора. Дифференциальная откачка
2.1.3 Сепаратор частиц
2.1.4 Детектор
2.1.5 Блоки питания, измерения и управления и регистрации
2.2 Применение анализаторов в литературе
2.2.1 Применение коммерческих анализаторов
2.2.2 Применение модифицированного анализатора состава газа
2.2.3 Исследование ВЧИ разряда с помощью масс-анализатора
2.2.4 Применение анализатора Pfeiffer в ВЧИ разряде
2.2.5 Времяпролетный анализатор
2.3 Выводы
Глава 3 Масс-анализатор и Экспериментальная установка
3.1 Разработанный масс-анализатор
3.1.1 Экстрактор
3.1.2 Магнитный секторный масс-сепаратор
3.1.3 Автоматизация и программное обеспечение стенда
3.2 Стенд ВЧИ и средства диагностики
3.2.1 Анализатор состава газа
3.2.2 Оптический эмиссионный спектрометр
3.2.3 Зондовая диагностика
Глава 4 Эксперименты
4.1 Проверка работы экстрактора в зависимости от потенциала смещения первой диафрагмы
4.2 Диагностика плазмы в смесях инертных газов
4.2.1 Диагностика плазмы в смесях Не/№
4.2.2 Диагностика плазмы в смесях Не/Аг
4.2.3 Выводы
4.3 Применение методики для диагностики плазмы в смесях Аг/Ы2
4.3.1 Диагностика плазмы при варьировании состава смеси Аг/Ы2
4.3.2 Диагностика плазмы при варьировании мощности разряда
4.4 Выводы
Заключение
Список использованной литературы
Благодарности
СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ И УСЛОВНЫХ ОБОЗНАЧЕНИЙ
ВЧИ разряд высокочастотный индукционный разряд
ВАХ вольт-амперная характеристика
ОЭС оптическая эмиссионная спектроскопия
ЛТР модель локального термодинамического равновесия
ФРЭЭ функция распределения электронов по энергиям
ВЭУ вторично-электронныйумножитель
АЦП аналого-цифровой преобразователь
ЦАП цифро-аналоговый преобразователь
Ъ температура ионов
Te температура электронов
концентрация ионов
концентрация электронов
Z заряд иона
M масса иона
^плазмы потенциал плазмы