Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл: 
- Название:
- Копейкин Андрей Николаевич. Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники
- Краткое описание:
- Копейкин Андрей Николаевич. Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2003 227 c. РГБ ОД, 61:04-5/1383
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб