Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл: 
- Название:
- Королев, Алексей Николаевич. Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения
- Краткое описание:
- Королев, Алексей Николаевич. Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01.- Таганрог, 1998.- 169 с.: ил. РГБ ОД, 71 00-5/158-6
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб