Каталог / ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ / Физика конденсированного состояния
скачать файл: 
- Название:
- Котляр, Василий Григорьевич. Исследование процессов формирования слоев нитрида кремния на Si(III) и Si(100) при облучении ионами азота низких энергий
- ВУЗ:
- Ин-т автоматики и процессов управления ДВО АН СССР
- Краткое описание:
- Котляр, Василий Григорьевич. Исследование процессов формирования слоев нитрида кремния на Si(III) и Si(100) при облучении ионами азота низких энергий : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Ин-т автоматики и процессов управления ДВО АН СССР.- Владивосток, 1991.- 16 с.: ил. РГБ ОД, 9 01-2/4063-0
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб