Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл: 
- Название:
- Козлитин, Алексей Иванович. Моделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем
- Краткое описание:
- Козлитин, Алексей Иванович. Моделирование изображений в растровом электронном микроскопе и разработка метода прецизионных измерений топологических размеров интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01.- Москва, 1994.- 34 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб