Кулинич Иван Владимирович Микроэлектромеханический переключатель для сверхвысокочастотных широкополосных интегральных схем

Краткое описание

Кулинич Иван Владимирович Микроэлектромеханический переключатель для сверхвысокочастотных широкополосных интегральных схем
ОГЛАВЛЕНИЕ ДИССЕРТАЦИИ
кандидат наук Кулинич Иван Владимирович
ВВЕДЕНИЕ

ГЛАВА 1. Литературный обзор

1.1 Виды и конструкции МЭМ ключей

1.2 Используемые материалы в технологиях микрореле

1.3 Традиционные технологии изготовления микроэлектромеханических систем

1.3.1 Объемная микрообработка

1.3.2 Поверхностная микрообработка

1.3.3 Технология LIGA

1.3.4 Технология глубокого активного ионного травления

1.4 Методы корпусирования МЭМС

1.4.1 Методы корпусировки на уровне кристалла (DLP)

1.4.1.1 Корпусирование с помощью монолитных капсул

1.4.1.2 Корпусирование с помощью пайки стеклокерамическим припоем

1.4.1.3 Объемная поверхностная микрообработка

1.4.2 Методы корпусирования на уровне пластины WLP

1.4.2.1 Тонкопленочные метод корпусирования

1.4.2.2 Герметизация с помощью лазерного оплавления

1.4.2.3 Корпусирование МЭМ структур в объеме кремниевой пластины

1.4.2.3 Корпусирование МЭМС с применением термопластичных материалов

1.4.2.4 Корпусирование МЭМС методом электрохимического осаждения

1.5 Исследование надежности стальных конструкций

1.7 Выводы и постановка задачи

ГЛАВА 2. Техника и методика эксперимента

2.1 Техника эксперимента

2.2 Методика эксперимента

2.2.1 Формирование металлизации управляющих, заземляющего и сигнального электродов на тестовых структурах

2.2.2 Формирование тестовых структур для разработки методики формирования необходимого профиля в жертвенном слое фоторезиста

2.2.3 Формирование тестовых структур для разработки методики формирования балки МЭМ ключа в виде МДМ структуры

2.2.4 Исследование механических напряжений в балки МЭМ ключа

2.2.5 Исследование электрических характеристик МЭМ ключа по СВЧ сигналу

2.2.6 Технология изготовления СВЧ МЭМ ключа и его корпусирования на GaAs подложке

ГЛАВА 3. Разработка макета СВЧ МЭМ ключа

3.1 Исходные данные к разработке макета СВЧ МЭМ ключа

3.3 Разработка механической модели балки МЭМ ключа

3.4. Исследование модели балки МЭМ ключа с реальной геометрией

3.4.1. Исследование влияние рельефа жертвенного слоя на надежность

балки МЭМ ключа

3.5 Разработка электрической модели область электрического контакта

балки МЭМ ключа

3.6. Разработка модели корпуса МЭМ ключа

3.6.1 Исследование механики корпуса МЭМ ключа

3.6.2 Исследование гидродинамики корпуса МЭМ ключа

3.7 Исследование СВЧ модели МЭМ ключа

3.7.1 Исследование СВЧ характеристик копланарной линии с разрывом

3.7.2 Исследование СВЧ характеристик МЭМ ключа в виде копланарной линии

3.8 Исследование СВЧ модели МЭМ ключа в корпусе

3.10 Разработка модели секции аттенюатора на основе СВЧ МЭМ ключа

ГЛАВА 4. Технологические блоки и процессы формирования СВЧ МЭМ ключа и GaAs СВЧ МИС на его основе

4.1 Разработка технологического блока изготовления балки СВЧ МЭМ ключа на основе медной металлизации

4.1.1 Формирование балки МЭМ ключа на основе медной металлизации по традиционной технологии изготовления воздушных мостов

4.1.2 Формирование балки МЭМ ключа на основе медной металлизации по технологии литографии

4.2 Разработка технологического блока изготовления балки СВЧ МЭМ ключа на основе МДМ структуры

4.3 Разработка технологического блока корпусирования СВЧ МЭМ ключа

4.4 Формирования секции СВЧ аттенюатора на основе МЭМ ключей

4.5 Выводы

ГЛАВА 5 Исследование параметров СВЧ МЭМ ключа и GaAs СВЧ МИС на основе СВЧ МЭМ ключа с медной металлизацией

5.1 Исследование электрических характеристик по постоянному току СВЧ МЭМ ключа

5.2 Исследование электрических характеристик по СВЧ сигналу СВЧ

МЭМ ключа

5.5 Выводы к главе

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

Литература

106